基于双光束激光干涉仪的微动平台六维位姿测量建模与误差分析

作     者：张昭 齐臣坤 林剑锋 张朴真 胡华君 高峰 ZHANG Zhao;QI Chenkun;LIN Jianfeng;ZHANG Puzhen;HU Huajun;GAO Feng

作者机构：上海交通大学机械与动力工程学院上海200240 北京空间飞行器总体设计部北京100094 

基　　金：上海市自然科学基金资助项目(19ZR1425500) 机械系统与振动国家重点实验室自主资助课题 

出 版 物：《机械设计与研究》 (Machine Design And Research)

年 卷 期：2020年第36卷第4期

页      码：23-27,32页

摘      要：为解决微动平台末端六维位姿的高精度测量问题,研究基于双光束激光干涉仪的位姿测量方法。利用空间正交布置的三台双光束激光干涉仪,测量微动平台上3个待测平面的线位移和角位移,通过测量系统的数学模型计算得到微动平台的六维位姿。建立了测量系统的数学模型,设计了高精度的简化求解方法,分析了各系统误差对测量结果精度的影响,为建立微动平台高精度位姿测量系统提供了理论基础,并成功应用于实际微动平台的标定。

主 题 词：微动平台 位姿测量 测量模型 激光干涉仪 误差分析 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 

D　O　I：10.13952/j.cnki.jofmdr.2020.0140

馆 藏 号：203975143...