可见光波段SixNy/SiO2硬质增透膜的研制

作     者：刘冬梅 岳鹏飞 付秀华 曹洪玉 张静 李爽 Liu Dongmei;Yue Pengfei;Fu Xiuhua;Cao Hongyu;Zhang Jing;Li Shuang

作者机构：长春理工大学光电工程学院吉林长春130022 光驰科技(上海)有限公司上海200444 

基　　金：吉林省重大科技攻关专项(20190302095GX) 

出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)

年 卷 期：2020年第57卷第15期

页      码：286-291页

摘      要：为提高手机显示屏的耐摩擦、防划伤能力,降低显示屏破碎的风险.研制了在可见光波段的硬质增透膜。通过逐步提高设计中SixNy膜层厚度在薄膜总厚度中所占的比例,优化沉积工艺,改善薄膜硬度。根据增透膜的设计理论、合理的膜层分组方式和逆向反演分析法完成膜系设计,降低了薄膜反射率。测试结果表明,在可见光波段范围内,薄膜的平均反射率为0.58%,硬度达到15.99GPa。

主 题 词：光学薄膜 增透膜 逆向反演分析法 硬度 反射率 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/LOP57.153101

馆 藏 号：203975370...