非制冷红外探测器用高TCR氧化钒薄膜制备研究

作     者：胡明 梁继然 吴淼 吕宇强 韩雷 刘志刚 HU Ming;LIANG Ji-rai;WU Miao;LV Yu-qiang;HAN Lei;LIU Zhi-gang

作者机构：天津大学电子信息工程学院天津300072 天津大学电子信息工程学院天津300072 天津大学电子信息工程学院天津300072 天津大学电子信息工程学院天津300072 天津大学电子信息工程学院天津300072 天津大学电子信息工程学院天津300072 

基　　金：天津市自然科学基金资助项目(043600811) 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2007年第36卷第Z1期

页      码：54-58页

摘      要：主要介绍了红外探测器的分类、发展,及基于氧化钒薄膜的热探测器的优势;采用直流对靶磁控溅射法制备氧化钒薄膜,通过设计正交实验,获得了氧化钒薄膜的最佳制备参数,分析了各个制备参数对氧化钒薄膜成分以及TCR的影响,研究了硅衬底上氧化钒薄膜电阻温度系数与电阻之间的关系.

主 题 词：氧化钒 电阻温度系数 红外探测器 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-2276.2007.z1.018

馆 藏 号：203976980...