能动反射镜低频像差补偿能力分析

作     者：杨李成 凌宁 曾志革 

作者机构：中国科学院光电技术研究所四川成都610209 

基　　金：国家863计划项目资助课题 

出 版 物：《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)

年 卷 期：2004年第16卷第7期

页      码：843-847页

摘      要：　采用Algor软件包并利用有限元法对37单元能动反射镜低频误差补偿能力进行了分析计算,确定了镜面厚度8mm,驱动器间距46mm,极头直径12mm等能动反射镜制造的关键参数。通过计算机仿真分析证明,基于这些参数所设计的能动反射镜可以对低频误差进行有效校正,校正精度的均方根值小于等于λ/8,从而可以为能动反射镜的制造提供理论依据。

主 题 词：能动反射镜 低频误差 有限元法 补偿 影响函数 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

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馆 藏 号：203977414...