一种改善准分子激光光束均匀性的新型均匀器

作     者：李红霞 楼祺洪 董景星 叶震寰 魏运荣 凌磊 

作者机构：中国科学院上海光学精密机械研究所上海201800 

基　　金：上海市科技发展基金 (0 2 11110 0 0 ) 国家 86 3ICF基金 (86 3 80 4 6 2 )资助项目 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2004年第31卷第7期

页      码：785-788页

摘      要：准分子激光作为当前光刻装置的主要光源 ,要求其输出激光光束强度分布尽量均匀。为了改善其光束强度分布的均匀性 ,介绍了一种新型梯形棱镜式准分子激光光束均匀器。从理论上分析了其工作原理及设计加工要求 ,计算了最佳均匀截面位置 ,并与普通棱镜均匀器进行了比较。实验中根据经梯形棱镜折射后光束能量在中间较强光束的本底基础上进行三分互补叠加的原理 ,实现了其与普通棱镜均匀器在二维方向上的组合使用 ;通过调节均匀器与接收屏之间的距离并同时记录每一位置处光束光斑的能量分布改善情况 ,确定了最佳均匀截面位置并与理论计算相吻合。利用其改善准分子激光器输出光束强度的分布 ,起伏优于 4 % ,其均匀效果优于普通棱镜均匀器。

主 题 词：激光技术 准分子激光 光束均匀器 梯形棱镜 平顶因子 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0258-7025.2004.07.005

馆 藏 号：203977436...