一种检测超光滑表面粗糙度方法的初步研究

作     者：项阳 郭玉彬 陈波 李福田 

作者机构：长春邮电学院 中国科学院长春光学精密机械研究所 

出 版 物：《光散射学报》 (The Journal of Light Scattering)

年 卷 期：1996年第8卷第3期

页      码：168-173页

摘      要：本文依据软Ｘ射线标量散射理论，给出了一种用软Ｘ射线全积分散射检测超光滑表面粗糙度ＲＭＳ值的方法，并设计和建立了测试装置。

主 题 词：软X射线 超光滑表面 粗糙度测量 

学科分类：08[工学] 0804[工学-材料学] 

馆 藏 号：203978184...