优化HAD结构提高CCD紫外谱段量子效率的研究

作     者：王小东 汪朝敏 付智红 王杰 WANG Xiaodong;WANG Chaomin;FU Zhihong;WANG Jie

作者机构：重庆光电技术研究所重庆400060 中国空间技术研究院北京100094 

出 版 物：《光电子技术》 (Optoelectronic Technology)

年 卷 期：2020年第40卷第3期

页      码：195-200页

摘      要：硅基正照式CCD探测器的紫外谱段响应普遍较低。针对如何提高正照式CCD在340 nm^390 nm谱段的紫外光探测性能进行了研究。在研究中,对正照式紫外线阵CCD进行了透射膜层优化,达到了光敏区表面对紫外波段光减少反射的效果;对CCD光敏区的结构进行了设计优化,达到光敏区降低界面态干扰的目的;对HAD结构的结构参数进行了优化,获得了极浅结的HAD结构。通过减反射膜、光敏区结构、HAD结构等三个方面的优化,较大程度地提升了正照式CCD紫外谱段的相互作用量子效率,从而提升了CCD对紫外谱光探测的量子效率。研究结果表明,正照式紫外线阵CCD探测器在300 nm^400 nm谱段范围内平均量子效率达到46.13%,其中340 nm^390 nm谱段范围内平均量子效率从8.6%提高到了47.48%。

主 题 词：正照式电荷耦合器件 紫外谱段 量子效率 减反射 空穴收集二极管 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.19453/j.cnki.1005-488x.2020.03.009

馆 藏 号：203978200...