CVD法制备纳米材料用高温真空电阻炉的研制

作     者：李学章 尹中荣 李全旺 LI Xue-zhang;YIN Zhong-rong;LI Quan-wang

作者机构：北京有色金属研究总院机电中心北京100088 

出 版 物：《工业加热》 (Industrial Heating)

年 卷 期：2006年第35卷第5期

页      码：53-54页

摘      要：根据纳米材料CVD法制备工艺的特殊性对设备的苛刻要求,自主设计开发了一台用于纳米粉体制备用的高温真空电阻炉,介绍了该设备的组成结构及其性能特点,论证了该种电阻炉在相关领域内的应用前景。

主 题 词：CVD法 真空 高温电阻炉 

学科分类：080801[080801] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-1639.2006.05.017

馆 藏 号：203978226...