基于石墨烯的集成化气体传感单元设计

作     者：吴超 王峥 庞振江 李良 孙海全 王海宝 WU Chao;WANG Zheng;PANG Zhenjiang;LI Liang;SUN Haiquan;WANG Haibao

作者机构：北京智芯微电子科技有限公司国家电网公司重点实验室电力芯片设计分析实验室北京100192 北京智芯微电子科技有限公司北京市电力高可靠性集成电路设计工程技术研究中心北京100192 

基　　金：国网信通产业集团自筹科技项目(52680016005Z) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2020年第39卷第10期

页      码：73-76页

摘      要：针对目前气体传感器敏感对象单一化的问题,利用新型二维纳米薄膜材料石墨烯,设计了一种集成化的多功能气敏传感单元,提出了一整套制造石墨烯气敏传感单元的工艺方案。敏感单元分为4个模块,利用同一片经过不同处理的石墨烯薄膜实现对三种不同气体的检测。NH 3检测模块核心敏感薄膜为氧化石墨烯,H 2检测模块核心敏感薄膜为钯掺杂石墨烯薄膜,NO 2检测模块核心敏感薄膜为氧化锌(Z nO)掺杂石墨烯薄膜。基于微机电系统(MEMS)工艺和石墨烯薄膜转移工艺可将上述3个气敏模块集成于一块芯片,实现一种新型集成化石墨烯气敏传感单元。

主 题 词：石墨烯 气体传感单元 集成化 多功能 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2020)10-0073-04

馆 藏 号：203978473...