棱镜耦合法的理论改进与实验设计

作     者：肖丙刚 胡骏 XIAO Bing-gang;HU Jun

作者机构：中国计量学院信息工程学院浙江杭州310018 浙江大学光及电磁波研究中心浙江杭州310058 

基　　金：浙江省光纤通信技术重点研究实验室资助项目 

出 版 物：《浙江大学学报（工学版）》 (Journal of Zhejiang University：Engineering Science)

年 卷 期：2007年第41卷第12期

页      码：2040-2043页

摘      要：为了能更精确地测量薄膜厚度及其折射率,介绍了一般棱镜耦合法的测量理论和实验方法,分析了一般的棱镜耦合法测量模型本身存在的理论误差.从测量理论上对棱镜耦合法进行了改进,提出了精确测量模型,减小了上述理论误差,同时给出了薄膜参数的简便计算方法,从理论上分析了薄膜参数计算方法的误差.用传输矩阵的方法进行了模拟论证,设计了实验装置,测量了在玻璃基底上甩胶法得到的Su-8薄膜,测量结果表明,改进的精确测量模型减小了测量误差,提高了测量精度.

主 题 词：导波光学 棱镜耦合法 色散方程 Newton—Raphson方法 传输矩阵法 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3785/j.issn.1008-973X.2007.12.019

馆 藏 号：203978551...