超高加速宏微运动平台研发设计动态

作     者：马兵 张璐凡 吕彭民 聂福全 周强 刘永刚 MA Bing;ZHANG Lu-fan;LU Peng-min;NIE Fu-quan;ZHOU Qiang;LIU Yong-gang

作者机构：长安大学道路施工技术与装备教育部重点实验室陕西西安710064 河南卫华重型机械股份有限公司河南长垣453400 山西潞安煤炭技术装备有限责任公司山西长治046000 河南工业大学机电工程学院河南郑州450001 

基　　金：国家青年科学基金项目(51705132) 河南省科技厅自然科学项目(172102210215) 河南省博士后基金和河南省教育厅自然科学项目(17A460008) 河南工业大学青年骨干教师培育计划项目 

出 版 物：《机械设计》 (Journal of Machine Design)

年 卷 期：2020年第37卷第S1期

页      码：19-23页

摘      要：随着微电子制造业装备对加速度和精度的要求的不断提高,宏微运动平台作为微电子制造业的关键设备,突破加速度和提高重复定位精度是宏微运动平台热点研究的核心问题。因此,面向超高加速超精密定位宏微运动平台的研发凸显的尤为重要。文中首先分析了宏微运动平台的国内外的研究现状。其次,针对加速度与重复定位精度之间存在的相对矛盾的研究基础上,对加速度与重复定位精度提升策略进行阐明。最后,阐述了超高加速宏微运动平台的研发关键技术与未来的发展方向,为进一步超高加速宏微运动平台的创新设计提供参考建议。

主 题 词：微电子制造业 宏微运动平台 超高加速超精密定位 关键技术与发展方向 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.13841/j.cnki.jxsj.2020.s1.006

馆 藏 号：203978559...