基于硅微陀螺的环形二极管电容检测技术研究

作     者：马宗方 畅璇 张兴成 孟真 吴萌 MA Zong-fang;CHANG Xuan;ZHANG Xing-cheng;MENG Zhen;WU Meng

作者机构：西安建筑科技大学信息与控制工程学院陕西西安710055 中国科学院微电子研究所北京100029 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61701388) 住房和城乡建设部研究开发项目(K32016014) 陕西省教育厅产业化项目(18JC017) 陕西省自然科学基础研究计划(2018JM6080) 西安建筑科技大学青年科技基金(QN1529,QN1630) 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2020年第8期

页      码：7-12页

摘      要：针对电容式硅微陀螺在角速率激励下产生的电容变化量在微弱的aF量级,易受外界信号的干扰而湮没的问题,对传统电容检测方法与环形二极管检测方法进行分析对比,采用了电路结构简单、功耗低、易于集成的环形二极管电路完成电容检测,建立了环形二极管电容检测电路的数学模型,分析其参数对检测电路输出电压的影响,结果表明检测电容变化量、解调电容以及载波均对差分输出电压产生影响。进行电路设计时应同时考虑非线性及灵敏度的影响,保证动态灵敏度最高的范围内尽可能增大解调电容,有效改变电容转换增益的非线性,输出与角速度成线性关系的电压信号。

主 题 词：硅微陀螺 微弱信号 环形二极管 电容检测 灵敏度 线性度 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

馆 藏 号：203978762...