微型热电制冷器的结构参数设计与制备

作     者：张翔 宁平凡 卢天博 董维娜 ZHANG Xiang;NING Pingfan;LU Tianbo;DONG Weina

作者机构：天津工业大学电气工程与自动化学院天津300387 天津工业大学电子与信息工程学院天津300387 天津工业大学大功率半导体照明应用系统教育部工程研究中心天津300387 

基　　金：天津市教委科研计划项目(2018ZD15) 

出 版 物：《成都工业学院学报》 (Journal of Chengdu Technological University)

年 卷 期：2020年第23卷第3期

页      码：34-38页

摘      要：热电制冷器(TEC)作为一种安全可靠的制冷方式,广泛应用于光学系统、医疗仪器及大功率电子器件中的精密温度控制。为了研究微型TEC垂直结构热电偶臂的性能,对其结构参数进行仿真计算。分析了热功率为空载条件下,臂长、截面积、柱间距、上电极厚度等参数对温差的影响,在下电极定温边界条件下,研究上电极自发热情况对冷热端温差的影响。各项结构参数确定后,以考虑上电极自发热为前提,利用ANSYS仿真软件计算得出上电极厚度为2.5μm时最佳电流为2.1 A,最大温差为10.36℃。最后利用磁控溅射设备沉积薄膜,采用Lift-off剥离工艺成功制备出来,验证了基于该结构参数下微型TEC热电偶臂工艺制备上的可行性。

主 题 词：微型TEC 参数计算 磁控溅射 Lift-off工艺 

学科分类：080705[080705] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 

D　O　I：10.13542/j.cnki.51-1747/tn.2020.03.007

馆 藏 号：203978855...