面向外延工厂的特殊气体管理系统设计与应用

作     者：肖健 周德兵 任凯 马利行 

作者机构：南京国盛电子有限公司江苏南京211111 

出 版 物：《科学技术创新》 (Scientific and Technological Innovation)

年 卷 期：2020年第29期

页      码：14-16页

摘      要：分析企业特殊气体管理现状和需求,开发了基于PLC的特殊气体管理系统。其核心是通过以太网通讯技术,将特殊气体供气气柜、质量分析仪器、气体泄露侦测器的实时运行参数进行传输、处理,工程师分析数据及时掌握特殊气体运行状态,发现潜在风险。通过设备互联,共享信息资源,保障产品质量,助力安全生产,提高了企业在市场经济下的竞争能力。

主 题 词：特殊气体 外延 PLC 信息化 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

馆 藏 号：203979009...