线阵CCD薄膜测宽装置关键技术

作     者：张洪涛 段发阶 胡亮 叶声华 ZHANG Hong-tao;DUAN Fa-jie;HU Liang;YE Sheng-hua

作者机构：天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50375110) "新世纪优秀人才支持计划资助"(NCET) 

出 版 物：《哈尔滨工业大学学报》 (Journal of Harbin Institute of Technology)

年 卷 期：2009年第41卷第5期

页      码：110-112页

摘      要：为100%保证薄膜宽度指标,采用光学成像方法,用线阵CCD作光电接收传感器,以单片机作主控处理器,设计了可用于高精度测量薄膜宽度的装置,对薄膜宽度进行在线非接触高精度测量,经论证取得了较好的测量效果,生产现场精度优于±0.050mm,实验室精度优于±0.040mm.

主 题 词：线阵CCD 单片机 非接触测量 

学科分类：08[工学] 0835[0835] 081202[081202] 0812[工学-测绘类] 

核心收录：

馆 藏 号：203979189...