基于高速光纤链路的同步测控机制

作     者：程鑫 周云飞 胡永兵 王耀 

作者机构：华中科技大学数字制造与装备国家重点实验室武汉430074 武汉理工大学武汉430070 

基　　金：国家科技重大专项(2009ZX02308) 

出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)

年 卷 期：2011年第22卷第19期

页      码：2325-2330页

摘      要：针对光刻机工作台多维纳米级同步运动,提出一种基于光纤链路的同步测控机制,实现了针对各运动轴控制指令执行和传感数据采集的严格同步;为每个运动控制器与其测控单元之间设计了独占的高速数据通道,确保测控的实时性;设计了基于内部总线的同步周期触发,定义了一致的传感器、执行器单元执行时序,以及精确光纤链路数据传输模型,确保测控的高同步性。实验结果表明,该测控机制的总体输出延迟小于0.65μs,同步误差小于20ns,若提高光纤链路速率,能进一步提升同步测控性能。

主 题 词：光纤链路 同步 超精密 测控 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

馆 藏 号：203980100...