基于PDMS的压电驱动式系列微型泵

作     者：刘国君 刘丕浩 李明 梁实海 唐春秀 LIU Guojun;LIU Peihao;LI Ming;LIANG Shihai;TANG Chunxiu

作者机构：吉林大学机械科学与工程学院吉林长春130025 长春工业大学机电工程学院吉林长春130012 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51375207) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2016年第38卷第3期

页      码：377-381页

摘      要：为进一步拓展压电微泵的应用领域,以利于更好地将其集成于微流控芯片中,该文对以固态聚二甲基硅氧烷(PDMS)为泵体材料的压电微泵开展相关实验研究。通过合理设计压电振子的支承方式、阀片结构以及采用两腔串、并联结构等措施以提高压电微泵的工作性能。分别以PDMS和聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为泵体材料设计制作了单腔微泵、双腔串、并联微泵,并对其工作性能进行对比性实验测试。实验证明,构造具有较好工作性能的PDMS压电微泵具有可行性,在电压90 V,频率80 Hz的情况下,PDMS双腔串联泵的输出流量达到21mL/min,输出压力达到10kPa。但与PMMA为泵体材料的压电微泵相比,PDMS压电微泵在流量、压力方面仍有近30%的差距。

主 题 词：压电 微型泵 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA) 微流控芯片 

学科分类：1002[医学-临床医学类] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 081203[081203] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0835[0835] 0702[理学-物理学类] 0812[工学-测绘类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-2474.2016.03.007

馆 藏 号：203982348...