光学超构表面的微纳加工技术研究进展

作     者：胡跃强 李鑫 王旭东 赖嘉杰 段辉高 Hu Yueqiang;Li Xin;Wang Xudong;Lai Jiajie;Duan Huigao

作者机构：湖南大学机械与运载工程学院国家高效磨削中心湖南长沙410082 湖南大学深圳研究院-珑璟光电微纳光学先进制造实验室广东深圳518100 

基　　金：国家自然科学基金(51722503,51621004) 湖南省自然科学基金(2020JJ5059) 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2020年第49卷第9期

页      码：88-106页

摘      要：超构表面由二维平面内精心排布的亚波长单元组成,为设计超紧凑型光学元件提供了新的范式,在微型化光学系统方面显示出了极大的潜力。在不到十年时间里,超构表面由于具有超轻、超薄且能够操纵光波的各种参量以实现多功能集成的优势在多学科领域引起了广泛的关注。然而,在光学波段,高自由度、非周期、排列密集的超构单元对其加工制备提出了很多极端的参数要求,如极小尺度、极高精度、高深宽比、难加工材料、跨尺度等,这使得超构表面从实验室走向实际应用面临极大的挑战。文中总结了近些年用于超构表面各类微纳加工方法的各类方法的原理、特点和最新进展,包括小面积直写方法、大面积模板转移方法以及一些新兴的加工方法。最后,针对超构表面在加工方面的目前的挑战和未来的发展趋势进行了总结和展望。

主 题 词：超构表面 微纳加工 极端制造 

学科分类：0808[工学-自动化类] 070207[070207] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0825[工学-环境科学与工程类] 0704[理学-天文学类] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/IRLA20201035

馆 藏 号：203986164...