一种基于K连通的AMC无线监测系统

作     者：兰少峰 陈雯柏 郝翠 刘玉伟 李卫 LAN Shaofeng;CHEN Wenbai;HAO Cui;LIU Yuwei;LI Wei

作者机构：北京信息科技大学自动化学院北京100101 世源科技工程有限公司北京100142 

出 版 物：《兵器装备工程学报》 (Journal of Ordnance Equipment Engineering)

年 卷 期：2020年第41卷第10期

页      码：222-227页

摘      要：针对目前半导体装备生产环境中的悬浮分子级污染物无线监测系统网络可靠性差、部署成本高,设计了一种基于K连通的AMC无线监测系统。基于ZigBee网络,路由层应用了链路优化的K连通算法,构建了一拖多式的终端数据采集节点、低功耗路由节点和数据汇总分析平台。实验结果表明:该系统可以对AMC数据进行有效采集、存储和分析,优化的K连通网络,降低了网络丢包率和路由延迟,有助于提高网络的可靠性。该系统符合半导体装备生产环境中AMC的监测需求,网络节点的设计有助于降低系统部署成本,网络性能较优。

主 题 词：K连通 AMC监测 半导体装备 传感器节点 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 0804[工学-材料学] 081001[081001] 

D　O　I：10.11809/bqzbgcxb2020.10.041

馆 藏 号：203986739...