基于Al_xN_y绝缘介质膜的新型窗口大功率半导体激光器

作     者：乔忠良 薄报学 么艳平 高欣 张晶 王玉霞 刘春玲 卢鹏 李辉 曲轶 Qiao Zhongliang;Bo Baoxue;Yao Yanping;Gao Xin;Zhang Jing;Wang Yuxia;Liu Chunling;Lu Peng;Li Hui;Qu Yi

作者机构：长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室吉林长春130022 

基　　金：国家973计划(6135602)资助项目 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2009年第36卷第9期

页      码：2277-2281页

摘      要：提升半导体激光器的腔面抗光学灾变(COD)损伤的能力,改善半导体激光器的工作特性,一直是大功率半导体激光器器件工艺研究的难点。基于薄膜应力使基底半导体材料带隙变化的原理,采用直流磁控溅射方法在不同条件下溅射生成不同内应力的Al_xN_y绝缘介质膜。通过研究大功率半导体激光器腔面退化机理,借助Al_xN_y等应力膜设计制作了一种新型非吸收透明窗口结构的宽条形半导体激光器,使器件平均最大输出功率提高46.5%。垂直发散角达到21°,水平发散角达到6.1°,2000 h加速老化试验,其千小时退化速率小于0.091%。

主 题 词：激光器 高功率半导体激光器 非吸收窗口 AlN 应力 

学科分类：080903[080903] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 070205[070205] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/cjl20093609.2277

馆 藏 号：203987057...