平面扭转式强磁场测量微传感器的设计与分析

作     者：王月媖 许高斌 王超超 陈兴 马渊明 WANG Yueying;XU Gaobin;WANG Chaochao;CHEN Xing;MA Yuanming

作者机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽合肥230601 安徽省微电子机械系统工程技术研究中心安徽合肥230601 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(11475002) 装备预研教育部联合基金资助项目(6141A020224) 

出 版 物：《合肥工业大学学报（自然科学版）》 (Journal of Hefei University of Technology：Natural Science)

年 卷 期：2020年第43卷第10期

页      码：1352-1356页

摘      要：文章针对托卡马克内部复杂的强磁场环境,设计了一种可用于测量X或Y方向强磁场分量的平面扭转式微传感器结构,其测量范围为0.05~1.50 T;并进行了优化设计和模拟仿真。仿真分析结果表明,该结构在线圈通入正弦电流的情况下,结构分辨率可达122.860 pF/T,谐振频率可达41.1 MHz。该传感器可为超导托卡马克装置未来千秒长脉冲准稳态磁场测量诊断系统提供相关解决方案和技术积累。

主 题 词：微机电系统(MEMS) 强磁场传感器 托卡马克 洛伦兹力 

学科分类：080802[080802] 0808[工学-自动化类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-5060.2020.10.010

馆 藏 号：203987280...