一种可见光波段气体传感器的设计与研究

作     者：罗世忠 王琦 孙光瑀 张大伟 LUO Shizhong;WANG Qi;SUN Guangyu;ZHANG Dawei

作者机构：上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海200093 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61775140 61775141) 

出 版 物：《上海理工大学学报》 (Journal of University of Shanghai For Science and Technology)

年 卷 期：2020年第42卷第5期

页      码：448-452页

摘      要：为了设计一种性能优越的气体传感结构,提出一种亚波长介质光栅/电介质/金属衬底混合波导结构,基于导模共振效应,在反射光谱中形成4个窄带共振缺陷峰。选用多孔硅作为波导层,基于多孔硅的折射率可调特性,通过观察共振波长的漂移实现样本气体浓度的动态监测,分析结构的传感特性。结果表明,3个窄带共振峰的灵敏度分别为300,350,400 nm/RIU,品质因数分别可以达到120,152.2,307.7/RIU,检测精度高,皆可用于气体传感。

主 题 词：气体传感器 亚波长光栅 导模共振 多孔硅 品质因数 

学科分类：07[理学] 070302[070302] 0703[理学-化学类] 

D　O　I：10.13255/j.cnki.jusst.20190906004

馆 藏 号：203989926...