Ka波段在线自检测MEMS微波功分器的设计与优化

作     者：郑从兵 张志强 黄晓东 ZHENG Congbing;ZHANG Zhiqiang;HUANG Xiaodong

作者机构：东南大学MEMS教育部重点实验室江苏南京210096 

基　　金：国家自然科学基金项目(61604039) 至善青年学者支持计划项目(2242019R40030) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2020年第33卷第9期

页      码：1229-1234页

摘      要：提出了一种基于MEMS技术,由MEMS微波功分器和在线式MEMS微波功率传感器组成的在线自检测MEMS微波功分器,实现了MEMS微波功分器在Ka波段的实时在线功率自检测。MEMS微波功分器为T型功率等分功分器,由共面波导、圆形的不对称共面带线和空气桥构成,三个端口处分别放置三个相同的在线式MEMS微波功率传感器用于端口处信号功率的实时监测。该结构基于GaAs MMIC工艺,它可以与GaAs微波电路实现单片集成。通过ADS和HFSS软件的协同仿真,在中心频率34 GHz处,回波损耗S11小于-30 dB,插入损耗S21(S31)约为-4.7 dB。在26 GHz^40 GHz的频率范围内,S11约小于-15 dB,隔离度S23小于-15 dB。

主 题 词：MEMS 自检测 微波功分器 微波功率传感器 

学科分类：12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程类] 08[工学] 081201[081201] 0812[工学-测绘类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2020.09.001

馆 藏 号：203991752...