基于平面波Offner补偿器检验非球面的光学系统设计

作     者：周浩 王欣 刘强 贾建军 舒嵘 Zhou Hao;Wang Xin;Liu Qiang;Jia Jianjun;Shu Rong

作者机构：中国科学院上海技术物理研究所空间主动光电技术重点实验室上海200083 中国科学院大学北京100049 

基　　金：国家重大科技专项 

出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)

年 卷 期：2020年第57卷第19期

页      码：103-109页

摘      要：针对米级大口径非球面,从平面波Offner零位补偿器检验光路的三级像差理论公式出发,推导计算了补偿器与被检镜面口径比不同时的光学规化参数,经过光学软件仿真,获取不同口径比下6种曲率半径非球面的最大口径和最大相对孔径。结果表明随着口径比的减小,平面波补偿检验非球面的相对孔径能力随之减弱,对于不同相对孔径的非球面检验,可选择最小口径比来达到检测要求。针对口径为720 mm的凹非球面镜检验,基于工程可行性,采用口径比α1=0.2的Offner补偿器,获得方均根(RMS)为0.0033λ的设计,实际检验测量中RMS为0.019λ,符合对该非球面的检验要求。

主 题 词：几何光学 Offner补偿器 非球面检验 平面波 光学设计 

学科分类：0808[工学-自动化类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/LOP57.190801

馆 藏 号：203992119...