SCR组和保护器件的设计与验证

作     者：赵莉 ZHAO Li

作者机构：南京德睿智芯电子科技有限公司江苏南京210000 

出 版 物：《科技创新导报》 (Science and Technology Innovation Herald)

年 卷 期：2020年第17卷第21期

页      码：117-119页

摘      要：硅控整流器SCR(Silicon Controlled Rectif ier)以及SCR的衍生器件跟二极管和GGNMOS(Grounded Gate NMOS)一样均是应用较为广泛的ESD保护器件。相比二极管和GGNMOS两类ESD保护器件,SCR ESD器件能够实现从高阻态到低阻态转换,而且具备可再生性,因此设计合理的SCR将具备非常高的ESD防护等级。本文首先介绍了SCR结构ESD泄放能力和工作机理,然后针对SCR组合保护器件的结构,结合理论分析与器件仿真对其关键特性进行设计保证;最后,基于某0.18um的工艺,设计多个ESD单体进行流片并进行TLP测试,证明本文设计的SCR组合保护结构具有较高的单位面积ESD性能。

主 题 词：ESD SCR 组合保护结构 器件仿真 TLP单体测试 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.16660/j.cnki.1674-098X.2004-9853-5960

馆 藏 号：203992198...