一种低损耗X波段微机械带通滤波器的设计与实现

作     者：李倩 赵瑞华 吕苗 胡小东 

作者机构：中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050051 中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050051 中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050051 中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050051 

出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)

年 卷 期：2005年第16卷第Z1期

页      码：231-232页

摘      要：采用MEMS工艺在两层高阻硅衬底上研制了一种低损耗的X波段滤波器.使用HFSS软件进行了结构仿真及优化,得到的带内损耗小于2dB,带外抑制大于40dB.设计了该滤波器的工艺流程并进行了投片,经测试,获得的滤波器的测试结果与仿真结果比较接近.

主 题 词：射频微电子机械系统 微机械加工 微封装 滤波器 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.079

馆 藏 号：203992312...