基于SAW技术的压力传感器设计研究

作     者：包宋建 陈文波 杨文耀 BAO Song-jian;CHEN Wen-bo;YANG Wen-yao

作者机构：重庆文理学院电子电气工程学院重庆永川402160 重庆市高校新型储能器件及应用工程研究中心重庆402160 

基　　金：国家自然科学基金项目(11804038) 重庆市博士后科研项目(Xm2017051) 重庆市高校新型储能器件及应用工程研究中心开放课题(KF20180204) 

出 版 物：《西南师范大学学报（自然科学版）》 (Journal of Southwest China Normal University(Natural Science Edition))

年 卷 期：2020年第45卷第11期

页      码：66-72页

摘      要：将声表面波(SAW)传感原理引入无源无线压力传感器设计,以新型材料硅酸镓镧作为压电基片材料,将2个反射栅的相位差作为压力传感器的输出信号,从而部分消除了环境温度变化带来的影响.设计较高的声表器件中心频率(433.92 MHz附近),从而提高了传感器的灵敏度.叉指换能器(IDT)的叉指对数设计既满足抑制旁瓣的要求,又满足声表面波激发能量的要求.对SAW压力传感器件的结构进行理论分析,采用计算机软件进行了建模和仿真.实验结果表明:以新型材料作为基片,以相位差作为输出信号,以433.92 MHz作为中心频率,并选择合适的叉指对数设计的压力传感器具有温度性能好、灵敏度高、测量误差小和压力相位差特性好的优点.

主 题 词：SAW技术 相位差 中心频率 叉指换能器 压电基片 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13718/j.cnki.xsxb.2020.11.010

馆 藏 号：203992859...