田字形单质量块三轴电容式微加速度计的设计与仿真

作     者：周寿权 张国俊 王姝娅 戴丽萍 钟志亲 

作者机构：电子科技大学电子科学与工程学院成都611731 

出 版 物：《电子产品世界》 (Electronic Engineering & Product World)

年 卷 期：2020年第27卷第12期

页      码：79-82,85页

摘      要：介绍了一种田字形单质量块三轴电容式微加速度计的设计与仿真。该加速度计以SOI晶圆作为基片,经过氧化、光刻、干法刻蚀和湿法刻蚀等工艺步骤得到。通过支撑梁和3个轴的敏感结构的巧妙设计,有效避免了平面内和垂直方向的交叉轴干扰的影响,并提高了Z轴的灵敏度。通过差分电容的设计,理论上消除了交叉轴干扰。通过仿真得到了该加速度计在3个轴向上的灵敏度及抗冲击能力。结合理论分析和ANSYS仿真结果,可以得出结论:所设计的加速度计拥有较低的交叉轴干扰、较高的灵敏度以及较强的抗冲击能力,在惯性传感器领域有一定的应用前景。

主 题 词：微加速度计 SOI 交叉轴干扰 灵敏度 

学科分类：08[工学] 080202[080202] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

馆 藏 号：203993418...