三维精密位移系统的设计

作     者：王生怀 陈育荣 王淑珍 谢铁邦 WANG Sheng-huai;CHEN Yu-rong;WANG Shu-zhen;XIE Tie-bang

作者机构：华中科技大学机械学院仪器系湖北武汉430074 湖北汽车工业学院机械系湖北十堰442002 

基　　金：国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2008AA042409) 国家自然科学基金资助项目(No.50745020) 湖北省教育厅重点资助项目(No.D20092301) 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2010年第18卷第1期

页      码：175-182页

摘      要：为满足精密位移的需要,研究开发了一种大行程、纳米级和计量型三维精密位移系统。采用模块化结构设计,即3个方向的驱动机构均采用完全相同的设计结构,分别称为X、Y、Z向一维工作台。位移系统在X、Y、Z3个方向采用粗、精两级驱动,并分别装有计量光栅。各方向粗驱动采用交流伺服电机配合精密丝杠和直线导轨进行,精驱动采用压电陶瓷微位移器配合柔性铰链进行,每个方向的两级驱动共用一套计量光栅,从而保证了位移系统的大行程、纳米级和计量型。介绍了位移系统的结构设计,分析了位移系统的位移分辨率、计量原理以及它的运动性能。实验表明,在40mm位移行程内,X、Y和Z向工作台两级驱动实际位移与设定位移之差分别不超过±0.030、±0.028和±0.033μm,验证了位移系统设计的有效性,为位移系统的设计提供了依据。

主 题 词：三维精密位移系统 结构设计 粗、精两级驱动 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

馆 藏 号：203994854...