基于氧化铟纳米带的离子敏场效应晶体管的设计和实现

作     者：吴传健 杨敏 王轶卿 WU Chuanjian;YANG Min;WANG Yiqing

作者机构：南京工业大学电气工程与控制科学学院江苏南京211816 

基　　金：江苏省自然科学基金青年基金资助项目(BK20180687) 

出 版 物：《测试技术学报》 (Journal of Test and Measurement Technology)

年 卷 期：2020年第34卷第6期

页      码：465-469页

摘      要：微量溶液pH值的检测在生物医学、食品质量监测以及环境监测等领域有着广泛的应用需求.本文设计了一种基于氧化铟(In2O3)纳米带的离子敏场效应晶体管,并将其用于微量溶液的pH值检测.采用In2O3纳米带为顶部沟道和硅衬底为底部沟道的双层沟道结构,有效提高了pH灵敏度.实验证明,该离子敏场效应晶体管在pH6到pH10范围内表现出良好的灵敏度,达到(74±5)mV/pH,超过常温下的能斯特极限59.2 mV/pH.并以急性心肌梗死标志物cTnI的检测为例,验证了该离子敏场效应晶体管可作为pH传感器用于生物标记物检浓度的检测.

主 题 词：氧化铟纳米带 离子敏场效应晶体管 微量溶液 pH检测 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-7449.2020.06.002

馆 藏 号：203995421...