面向微型近红外光谱仪的高效扫描光栅微镜设计（英文）

作     者：杨婷雁 温志渝 周颖 Yang Tingyan;Wen Zhiyu;Zhou Ying

作者机构：重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室重庆400044 重庆大学微系统研究中心重庆400044 

基　　金：supported by the Special Funds of the National Natural Science Foundation of China(61327002) 

出 版 物：《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)

年 卷 期：2016年第28卷第6期

页      码：140-145页

摘      要：近年来,随着微光机电系统（MOEMS）技术的快速发展,光谱仪朝着微型化、低成本、高性能方向发展。基于MOEMS技术制作的闪耀光栅可集成于扫描微镜,其作为近红外光谱仪的核心部件,可实现单管探测器代替昂贵的阵列式探测器,以降低近红外光谱仪成本与体积。设计了一种高性能扫描光栅微镜,以提高光谱仪的探测灵敏度。扫描微镜表面集成高衍射效率光栅,背面制作电磁驱动线圈。采用光学软件与有限元方法对器件参数进行优化。仿真结果表明：扫描光栅微镜谐振频率为484.38Hz,最大扭转角度为±4.55°,在800~1800nm工作波长范围内,整体动态衍射效率在54%以上且最大值达90%。

主 题 词：扫描光栅微镜 高衍射效率 近红外光谱仪 电磁驱动 

学科分类：0808[工学-自动化类] 080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.11884/hplpb201628.064127

馆 藏 号：203997655...