摘要：基于二氧化钛/聚酰亚胺(TiO_(2)/PI)复合感湿材料,设计并制备了一种叉指结构电容式湿度传感器。为了提高传感器的灵敏度,缩短响应时间,对复合薄膜中TiO_(2)的含量及复合薄膜的厚度进行了研究和优化。实验结果表明:与未引入TiO_(2)的PI湿度传感器相比,TiO_(2)质量分数为5%的湿度传感器灵敏度提高了97%,且线性度良好(R^(2)=0.991);针对叉指结构设计合理的复合薄膜厚度,能将传感器的响应时间和恢复时间分别显著缩短至33 s和38 s。该研究可为电容式湿度传感器的湿敏薄膜材料配制和厚度优化提供有益的参考。

摘要：基于电耦合电感电容谐振器(ELCR)设计并制造了一种新型聚酰亚胺微波湿度传感器(PMHS),PMHS的双谐振点位置与幅度可按检测需求灵活调节。实验结果显示:在10%~90%RH的湿度范围内,PMHS在1.2 GHz处谐振点偏移量和2.085 GHz处反射系数增量与湿度变化成线性关系,双模线性度R^(2)分别为0.9854和0.9987,两者的检测灵敏度分别为83.8 kHz/%RH和0.117 dB/%RH。该研究表明:多谐振微波传感器可作为一种新方案实现宽范围、高线性度、高灵敏度的湿度检测。

摘要：湿度传感器是一种用于感知环境湿度参数的器件,在气象探测、农业种植、工业制造、馆藏存储等领域应用广泛。湿度传感器的检测特性主要由湿敏材料、检测电极、封装及检测电路共同决定,其中湿敏材料的材料特性和结构特征对传感性能的影响最为显著,也是该领域的研究热点。讨论了湿度传感元件的感湿机理和湿敏材料的分类,介绍了湿度传感器的检测参数及优化,阐述了纳米湿敏材料在湿度传感器中的应用,对常用的湿度传感器封装方案和检测电路设计进行了综述。