摘要：阐述了一种主要由质量块、折叠梁结构、触点电极和自锁 /解锁机构组成的微型加速度开关的研制过程。设计过程中采用有限元软件Ansys进行结构模拟计算 ,确定了合适的结构参数 ;以硼硅玻璃为基底 ,采用准LIGA和牺牲层技术 ,分三层制作完成。经测试 ,开关性能较好 。

摘要：为了解决电容极板间隙低至3μm时传感器键合封接后内部活动部件粘连失效的问题,介绍了一种利用去除部分Au层的办法来抑制小间隙键合粘连,通过严控元件表面生产质量,合理地设计伺服控制器,制作的微加速度传感器已经达到了±70g的量程,单边线性二次项系数10-6量级,残差控制在15mg以内,相对精度达到了2×10-4,达到了设计要求。

摘要：咽鼓管导管治疗分泌性中耳炎王永光栾信庸范献良任惠兰丁寿玲丁元萍１９９３年１月～１９９４年１２月用自行设计制造的咽鼓管导管（附图）治疗分泌性中耳炎５４例７２耳，效果理想，报道如下。导管总长１５５ｍｍ管体长１３７ｍｍ管头长１２ｍｍ管头外偏３０°管颈长３０...