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一种非接触式光学微腔液压测量系统: 收藏
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引用; 《电子测量技术》2024年第7期47卷 42-48页; 作者：魏鹤鸣侯林嵩丁武成殷瑞雪任冬妮上海大学特种光纤与光接入网重点实验室上海200444 华东理工大学机械与动力工程学院上海200000 明澈生物科技(苏州)有限公司苏州215100; 为满足在狭小腔室中测量液体压强的需求,设计了一种非接触式光学法布里珀罗微腔液压测量系统,其中,光学微腔采用双光子三维打印技术制备,膜结构尺寸仅为350μm,设计的膜厚分别为4μm和6μm。系统主要采用嵌入式设计与衍射光栅光谱模块互...; 为满足在狭小腔室中测量液体压强的需求,设计了一种非接触式光学法布里珀罗微腔液压测量系统,其中,光学微腔采用双光子三维打印技术制备,膜结构尺寸仅为350μm,设计的膜厚分别为4μm和6μm。系统主要采用嵌入式设计与衍射光栅光谱模块互联,实时采集光学微腔干涉光谱信号,实现了高精度光谱动态解调。实验结果表明,室温(25℃)下,4μm膜厚的微腔液压灵敏度高达398 pm/kPa,系统分辨率可达35.5 Pa,重复性较好,有望用于生物医学眼压等应用场景。; 来源：详细信息评论

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