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亚纳米精度长度溯源计量型动态模式原子力显微镜: 收藏
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引用; 《机械工程学报》2008年第3期44卷 195-199页; 作者：黄强先 ■太聪三隅伊知子黑澤富藏合肥工业大学仪器科学与光电工程学院合肥230009 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 日本产业技术综合研究所日本筑波305-8563; 通过与长度溯源三轴激光干涉仪测量系统结合,设计开发计量型动态模式原子力显微镜(AFM)。此AFM系统中,三轴激光干涉仪系统用于实时测量AFM测头与试样的相对位移。激光干涉仪系统的x,y,z测量轴正交于AFM探针顶端附近的一点,基本可以避免...; 通过与长度溯源三轴激光干涉仪测量系统结合,设计开发计量型动态模式原子力显微镜(AFM)。此AFM系统中,三轴激光干涉仪系统用于实时测量AFM测头与试样的相对位移。激光干涉仪系统的x,y,z测量轴正交于AFM探针顶端附近的一点,基本可以避免系统的阿贝误差,使AFM具有极高的测量精度。除此之外,扫描过程中三轴激光干涉仪系统还用于工作台x,y方向位移的反馈控制,完全克服AFM中压电器件的缺陷对水平尺寸测量的影响。分析表明.在对纳米标准栅的平均栅距测量中,AFM系统达到亚纳米的测量精度。; 来源：详细信息评论

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