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对准标记鲁棒性分析方法及仿真: 收藏
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引用; 《光学学报》2023年第11期43卷 109-118页; 作者：周光迎齐月静李亮姜淼师江柳么铭怡中国科学院微电子研究所北京100029 北京超弦存储器研究院北京100176 中国科学院大学北京100049; 针对复杂结构对准标记仿真需求,联合严格耦合波法和分层近似法提出一种对准标记鲁棒性分析方法。利用该方法构建仿真模型:以晶圆质量和信噪比为评价函数,研究了标记槽深、槽宽、膜层厚度和侧壁对称变形等参数变化对标记鲁棒性的影响;以...; 针对复杂结构对准标记仿真需求,联合严格耦合波法和分层近似法提出一种对准标记鲁棒性分析方法。利用该方法构建仿真模型:以晶圆质量和信噪比为评价函数,研究了标记槽深、槽宽、膜层厚度和侧壁对称变形等参数变化对标记鲁棒性的影响;以对准误差为评价函数,研究了侧壁非对称变形对标记鲁棒性的影响。并结合对准标记鲁棒性分析结果明晰了光刻机提升标记工艺适应性的策略。最后借助VirtualLab商业软件和实验平台,验证了分析方法的有效性和准确性。所提方法和给出的工艺适应性策略,对于对准标记设计优化和光刻机对准精度提升具有重要的理论意义和应用价值。; 来源：详细信息评论

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