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锁相技术在电子束曝光机工件台稳速控制中的应用
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《微细加工技术》1996年 第2期 7-11页
作者：魏守水 张玉林 付光达山东工业大学自动控制系山东建工学院机电系 
采用销相技术，对电子束曝光机工件台运动实现速度环的全数字控制。设计了数字差频积分回路和数字差频比例控制器，能有效消除速度的静态误差和改善系统的动态特性。
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