摘要：介绍了一种利用脉冲放电氦离子化检测器(PDHID)分析六氟化钨(WF6)中气相杂质的方法。该法利用阀切割技术对WF6主组分进行反吹,避免其进入分析柱及检测器,可准确分析出其中杂质的含量。

摘要：采用配有放电离子化检测器的气相色谱仪分析高纯四氟化碳中痕量气体杂质。研究了分析四氟化碳中氧气、氮气、一氧化碳、二氧化碳和六氟化硫等气体杂质的操作参数,确定了高纯四氟化碳中痕量气体杂质的分析方法。

摘要：介绍了一种用放电离子化检测器(DID)分析三氟化氮中微量气相杂质的方法。利用阀切割技术对大量的三氟化氮主组分进行切割,避免其进入检测器系统,从而准确地分析出三氟化氮中杂质的含量。该法简便、快捷、准确度和精密度高。

摘要：采用配备放电离子化检测器(DID)的GOW–MAC 816气相色谱仪,利用中心切割技术对六氟乙烷主组分进行切割,避免其进入检测器系统,从而能够准确地分析出电子级六氟乙烷中微量杂质的含量。该方法简捷,方便,灵敏度高。

摘要：采用中心切割和吹扫技术对电子级SF6气体中微量杂质进行了定量分析,同时测定该方法的精密度。结果表明:中心切割技术能够将一些组分从主组分掩盖下有效分离出来,使得微量的杂质能够准确定量;该方法重复性好,简便快捷,有很强的实用性,适用于大规模生产过程中对电子级SF6气体的分析。

摘要：采用密闭的取样系统吸收电子级NF3中金属杂质,利用电感耦合等离子体质谱法（ICP—MS）测定了吸收液的金属杂质含量。结果表明：该方法测定电子级NF3中金属杂质含量的相对标准偏差≤3.09%,NF3中各项金属杂质含量远远低于指标3×10^–9。