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基于全场位移测量技术的微悬臂梁面内弯曲性能测试: 收藏
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引用; 《实验力学》2014年第4期29卷 441-446页; 作者：邵亚琪郇勇代玉静缪泓张泰华中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室北京100190 中国科学技术大学中科院材料力学行为和设计重点实验室合肥230026 浙江工业大学机械工程学院特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室杭州310014; 基于自制的微力试验机和全场位移光学测量仪,建立了微尺度力学性能原位测试系统。其中微力试验机基于电磁驱动兼载荷计量原理设计,载荷量程和噪音分别为±1N和50μN。全场位移光学测量仪基于白光数字散斑相关方法研制。采用该系统对...; 基于自制的微力试验机和全场位移光学测量仪,建立了微尺度力学性能原位测试系统。其中微力试验机基于电磁驱动兼载荷计量原理设计,载荷量程和噪音分别为±1N和50μN。全场位移光学测量仪基于白光数字散斑相关方法研制。采用该系统对MEMS单晶硅(001)微悬臂梁进行了面内弯曲力学性能原位测试,获得了微悬臂梁末梢施力点的力-位移关系曲线,以及全场变形情况。结果显示,微悬臂梁表现出很好的弹性弯曲行为,最后在根部发生脆性断裂。根据弹性弯曲理论计算出单晶硅弹性模量为123.8GPa(±3.2%)。该技术为研究MEMS微构件的力学性能提供了一种有效的手段。; 来源：详细信息评论

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