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硅基电子气体的安全生产: 收藏
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引用; 《化工设计通讯》2021年第2期47卷 126-127页; 作者：任传宗武晓闯郭树虎赵宇常欣赵雄万烨洛阳中硅高科技有限公司河南洛阳471023 多晶硅制备技术国家工程实验室河南洛阳471023 中国恩菲工程技术有限公司北京100038; 硅基电子气体是太阳能光伏、光通讯、集成电路产业的基础原材料,近年来市场需求量日益增长,国产化趋势显著。重点分析了硅基电子气体的物理化学性质、危险特性,结合硅基电子气体的生产制备设备及工艺,分析系统不同阶段下的风险隐患,针...; 硅基电子气体是太阳能光伏、光通讯、集成电路产业的基础原材料,近年来市场需求量日益增长,国产化趋势显著。重点分析了硅基电子气体的物理化学性质、危险特性,结合硅基电子气体的生产制备设备及工艺,分析系统不同阶段下的风险隐患,针对性制定有效的管控措施,包括设备安全管控和生产安全管控等。通过各种有效安全管控措施,确保硅基电子气体生产、检测、储存、充装及运输等过程的本质安全。最后展望了硅基电子气体安全生产的发展趋势和方向。; 来源：详细信息评论

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