摘要：随着第三代通信技术的发展 ,可与硅片集成的滤波器受到了越来越多的关注。基于 Zn O/ Si O2 / Si结构设计、制作了声表面波 (SAW)射频 (RF)滤波器 ,其工艺与普通的 IC工艺兼容 ,具有与其他电路集成在一块芯片上的可能。测试结果显示滤波器的中心频率可达 1.12 GHz,带宽达 10 % ,插损为 11d

摘要：在分析体声波滤波器的原理、结构及相关参数的基础上 ,结合锆钛酸铅薄膜的材料特性 ,提出了一种射频体声波滤波器设计。设计中考虑了衬底、电极的质量加载对中心频点的影响 ,模拟了不同连接方法下滤波器的频率特性 ,探讨了薄膜材料的制备、退火。

摘要：采用了丝网印刷工艺在硅片上制备了锆钛酸铅 (PZT)薄膜 ,进行了相应的工艺分析。设计并仿真了平面光子带隙 (UCPBG)结构 ,测试了结构的电磁参数 ,证实了结构的可行性。在此基础上提出了一种基于 PZT厚膜工艺和平面光子带隙结构的微型射频 (RF)

摘要：锆钛酸铅 (PZT)材料有着优良的压电性能 ,其薄膜具有高机电耦合系数、高品质因数的特点 ,适合于制作低插损、大带宽的射频 (RF)滤波器。文中介绍了 RF体声波滤波器的原理、结构和 PZT的材料特性 ,探讨了PZT薄膜的制备、退火、刻蚀工艺的选择与优化 ,并在此基础上设计了应用 PZT薄膜的体声波滤波器 。

摘要：以清华大学微电子所的铁电存储器工艺为基础,设计了一个规模为4kb(512×8位)的铁电存储器,包括存储阵列、灵敏放大器、字线位线译码、驱动脉冲产生等模块。设计中,采用新开发的铁电电容模型,文中重点介绍了与传统DRAM、SRAM等存储单元完全不同的铁电存储单元的设计方法。仿真结果表明,铁电存储器在5V工作电压下工作周期为120ns。

摘要：利用压电多层膜悬臂梁的形变曲率半径,导出了简洁的压电悬臂梁型微执行器的偏转模型.采用此模型,对硅基PZT压电悬臂梁型微执行器进行了模拟和分析.分析获得了各层薄膜结构参数与微执行器偏转位移的关系.根据此分析结果,进一步优化了压电悬臂梁型微执行器的设计,并给出了优化的方法.

摘要：在现有 Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３（ＰＺＴ）铁电薄膜的制备工艺基础上，提出并设计了可集成在同一芯片上的基于ＰＺＴ铁电薄膜的压电型微麦克风、扬声器结构，对其灵敏度和声输出进行了理论计算。比较了基于 ＰＺＴ和 ＺｎＯ两种材料的微麦克风和扬声器的性能差异。

摘要：为设计性能优良的磁电阻传感单元,制作了一系列由不同宽度的单条GMR自旋阀磁电阻条所构成的传感器,并对并对它们的性能进行了测试。综合比较不同宽度传感器的矫顽力Hc、耦合场Hcof和线性范围Hrange,发现传感器最佳宽度为4μm,具有此宽度的传感器不仅线性区关于零场对称,而且矫顽力很小、线性范围很大,受弱磁场的影响很小。对由四个磁电阻条构成的惠斯通电桥传感器的钝化层设计采取了在传感器表面旋涂SU-8胶并在其电桥信号单元覆盖区开孔的办法,不仅满足了传感器在液体环境的测量要求,而且能够很好的区分传感器中的信号单元和参考单元。

摘要：设计并研究了一种硅基PZT压电悬臂梁驱动扫描微镜器件.这种扫描微镜采用单晶硅平面微镜面作为光扫描反射元件,由硅基压电复合弹性悬臂梁作为驱动机构控制水平微镜面偏转实现光信号的扫描.整个光扫描微器件可以阵列方式集成在单个硅芯片上,形成光扫描器阵列.采用数值有限元分析的方法模拟和优化了压电复合弹性悬臂梁驱动扫描微镜的力学性能.分析表明,微镜偏转角与压电悬臂长度和工作电压呈线性关系.在研究了影响光学扫描微镜机电性能各项因素的基础上,给出了器件结构优化的方法.

摘要：目的是为实现高灵敏度、集成化的微麦克风和扬声器奠定基础。利用锆钛酸铅（ＰＺＴ）铁电体具有的优良的力电耦合特性，提出将ＰＺＴ铁电薄膜与硅工艺相结合，研制悬臂式铁电—硅集成微麦克风和扬声器。利用双膜片模型对ＰＺＴ振膜结构进行了优化设计，并对其工艺流水过程进行了初步设计，从而为集成微麦克风和扬声器的最终实现奠定了设计基础。铁电—硅集成微麦克风和扬声器可望应用于多媒体语音输入及移动通信等方面。