摘要：介绍了超精密加工中主轴电机的振动及其对超精密加工的影响;在原有伺服电机的基础上设计并制作了气浮电机;用加速度传感器提取电机的振动信号,并用AD3525FFT频谱分析仪对电机的振动加速度信号进行了分析,测试出在电机转速为500r/min时普通伺服主轴电机和气浮主轴电机的振动和速度分别为0.436×10-4g和0.108×10-4g,用改造的气浮主轴伺服电机构成的超精密加工系统,加工KDP晶体的表面粗糙度达到了8nm。本项研究对提高超精密加工主轴系统精度具有一定的实用价值。

摘要：提出了利用气浮均化技术提高测量基准的设想,依照气体静压理论设计了300mm×400mm气浮测量板;并作了两种检测方法的对比检测试验。该技术提高了测量基准精度,消除了测量过程中的摩擦力,可极大地提高超精密工件的检测精度。