摘要：本文设计了一种低电压电容式RFMEMS开关,开关采用了两端固支梁结构,在梁与CPW共面波导地线的四个固定支撑位置使用了折叠结构,该结构可以减低下拉电压;通过在MEMS开关梁上开孔(直径9μm圆孔)来减小残余应力和杨氏模量和选择合适的开关梁厚度,显著降低了MEMS开关梁的弹性系数和下拉电压。以上措施显著降低了电容式RFMEMS开关的下拉电压,在ANSYS仿真下拉电压约为6V,驱动电压约为8.4V,该MEMS开关依旧保持了较好的S参数,开关插入损耗大于-0.35dB(8-40GHz),回波损耗小于-22dB(8-40GHz),隔离度(down态S21)大于25dB(8-40GHz)。

摘要：在MEMS静电执行器设计中,由于吸合效应的存在,导致微执行器调节范围受到限制。首先,对微执行器吸合效应产生的原因及其影响进行了分析与阐述。然后,针对吸合效应所带来的问题,给出了多种解决方法,以及与这些方法相关的技术进展。最后,对这些方法的性能及优缺点进行了总结。这些解决MEMS微执行器吸合效应的方法分为三种:利用反馈方法扩展执行器稳定范围;通过特殊的结构设计扩展执行器稳定范围;通过改变微执行器工作环境扩展执行器的稳定范围。通过对这三种方法的阐述,进一步加深了对吸合效应问题的理解,为今后的研究奠定了基础。

摘要：射频微机电(RF MEMS)是应用微机电技术加工的用于无线通讯的射频器件,正是RF MEMS技术的出现,使满足当代移动通讯和卫星通讯需要的微型电路芯片得以实现,移动通讯领域所要求的低功耗、超小型、高集成度刚好可以通过MEMS技术实现。在本文中,我们对商业化程度最高的微机电开关的结构,工作原理进行了分析,对其的重要特性"下拉效应"进行了分析。

摘要：介绍了RF MEMS开关的工作原理和基本结构,给出采用Ansys有限元分析方法仿真RF MEMS开关的流程及方案。对一种新型的低驱动电压RF MEMS开关,使用Ansys有限元软件进行分析:静态分析求解开关的下拉电压,动态分析得到开关时间,并给出该开关的应用实例。