摘要：文章设计一种300mm硅片真空传输系统,满足市场对硅片传输过程高精度,高洁净度,高效率的需求。其中硅片传输腔室采用真空设计,并优化了真空腔室的结构以适应300mm硅片传输,真空度可达2×10^(-7)Torr。真空机械手采用对称连杆直驱机械手,大气机械手采用R-θ型机械手,其重复精度均为±0.1mm。设计了AWC纠偏检测系统,利用光电对射传感器,实现对硅片的实时检测及位置纠正。通过验证性试验数据分析,得到整个系统的整体精度、洁净度、真空度和真空变化值满足工作要求,验证了设计的合理性。

摘要：文章设计并研制了8英寸硅片真空传输平台,介绍了该传输平台的整体结构,并对关键模块前端传输腔室VCE中的CTA传输手托盘系统进行了选型设计、机构分析。垂直升降系统采用丝杠传动,CTA传输手采用平面四连杆机构增大刚度。对传输手主动杆强度和变形量进行了有限元仿真分析。经过重复运行精度实验测试,整个平台达到了硅片制造要求。

摘要：为了对晶圆预对准过程进行建模及仿真,建立了晶圆边缘数据采集模型,其重点在于缺口模型的建立。首先采用分段函数法对晶圆边缘曲线进行建模,再根据几何关系分段建立晶圆边缘数据采集模型。最后,根据所采集到的晶圆边缘的数据分别采用不同算法计算出晶圆的偏心及缺口的方向。该模型不但建立了包括缺口在内的完整晶圆边缘模型,而且还考虑了转动中心偏置及CCD分辨率等的影响,利用此模型可以系统的对晶圆预对准过程进行深入的研究。

摘要：该文将协作机器人应用在行星减速机的装配系统中,并且设计了复合机器人上下料平台、三维视觉分拣平台和协作装配平台,其中复合机器人应用了自动导航、视觉定位技术,协作机器人应用了碰撞保护、精准力控、高精度定位技术,末端采用电控夹爪多点多位置控制技术,控制系统应用PLC进行控制调度,并且采用了三维视觉识别技术,实现了行星减速机装配系统的快速、稳定运行。

摘要：随着人类科学技术的不断发展,机器人应用的空间也变得更加广泛,未知和不确定性环境对机器人产品的功能提出了更高的要求,促进了机器人技术的不断提高,同时对机械手的结构及应用方式也提出了更高的要求。为适应空间站、工业装配、探险救援、水下作业等特殊应用,人机共同协作及轻量化成为机器人发展的方向。而目前有着广泛应用的工业机器人和机械手,其结构设计的特点往往是零部件结构紧凑、刚性好,但其重量及人机协作性较差,因此有必要对机械臂的结构和关键部件进行轻量化设计,以实现其本体质量轻、柔性高及人机协调性好的特点。该文从轻量化机械手的基本概念入手,结合多年的机器人研发与应用经验,对轻量化机械手的关键技术总结与分析,并展望了轻量化机械手广泛的发展前景。

摘要：官能团的引入使聚乙炔衍生物具有多种独特的物理化学性质,在不对称催化、光学材料和化学传感器等方面具有潜在的应用价值。本工作设计并合成含氨基甲酸酯支链的聚乙炔衍生物(P1),将其作为底物进行后续改性。基于氨基甲酸酯可与多种胺分子发生亲核取代反应,选取1-苯乙胺和3,5-双(三氟甲基)苯胺分别对P1进行后修饰,成功得到含脲基的P2和P3两种目标聚合物。由于脲基与阴离子间固有的氢键结合能力和聚乙炔共轭主链的协同作用,P3表现出阴离子传感特性。向P3/四氢呋喃溶液添加阴离子可导致其紫外可见吸收光谱的变化,特别是使用的阴离子为F-,Cl-,Br-和CH_(3)COO-时,新的吸收峰出现在约为450nm和480nm的可见光区域,可应用于比色传感器。

摘要：以区域电网光缆线路智能监测系统为研究对象,对其数据传输技术进行研究。采用数据库技术、计算机技术、GIS技术、网络通信技术、OTDR测试技术,对电网光缆线路智能监测系统的组成及功能、系统结构设计、系统关键模块OTDR光缆智能监测的实现、GIS光缆监测故障位置的判断、GIS光缆故障智能监测定位进行研究,系统通过对数据库存储的光缆线路地标信息的使用,经OTDR测试,可直接将故障信息显示在地标信息上,提供准确直观可视化故障信息给维护人员,使运维成本得到进一步降低,避免通信中断造成系统瘫痪引起的损失,这为今后应用区域电网光缆线路智能监测系统数据传输技术提供参考。

摘要：采用应力分析设计方法对一台现场制造的1000m^3氮气球罐较大范围错边超标处进行结构应力强度评定，评定结果合格，决定保留错边不做处理，避免了采用补焊方法处理错边超标缺陷所带来的人力物力损失，为今后解决类似问题积累了经验。