摘要：采用长短波通膜系组合结构，对膜系光学性能进行了优化设计以及仿真分析。采用电子束蒸发，离子束辅助沉积工艺在Si基底两面分别沉积长短通膜。样品的透过率采用红外光谱仪测试，在3．7～4．2μm波段范围内平均透过率在80％以上，在3～3．6μm和4．3～5μm波段范围内截止，并将理论设计与实验结果进行了对比分析。样品通过了GJB2485—95规定的环境适应性测试。产品满足设计要求，具有工程化应用价值。

摘要：设计了45°入射反中波透长波分束膜系,并进行了误差仿真分析。选用"Ge+ZnS"和"ZnS+YF3"两组高、低折射率材料,采用离子辅助电子束蒸发技术,经过大量的镀制实验与工艺改进,解决了薄膜应力累积、不牢固、波长易偏移等问题,获得了45°入射中波红外3.7~4.8μm波段反射率R≥98%,长波红外7.7~10.3μm波段透过率T≥95%、光学性能良好的反中波透长波红外分束膜。镀膜样品一次性通过了GJB 2485-1995规定的高低温及附着力试验。试验结果表明,膜层致密性和附着力良好。

摘要：硫化锌在3~5μm和7.7~9.3μm两个波段具有较高透过率,但其脆性大、耐摩擦性能较差,在其表面镀制类金刚石膜保护膜可显著提高其使用性能。直接在硫化锌基底沉积类金刚石膜难以实现,采用匹配层与过渡层的设计思想,制备出类金刚石膜与硫化锌基底之间相互牢固结合的过渡层。通过等离子体化学气相增强法在过渡层上成功制备类金刚石膜。研究了射频功率、气压等对保护膜系力学性能的影响。结果表明,镀制了硬质保护薄膜的硫化锌窗口在3~5μm和7.7~9.3μm双波段的平均透过率均高于90%,膜层硬度为硫化锌窗口近5倍。经环境试验之后,膜层光学性能与机械性能均无变化。