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微型机械材料的残余应力测量
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《机械工程材料》2001年 第4期25卷 29-32页
作者：何日晖 叶雄英 周兆英清华大学精密仪器与机械学系微型机械研究室北京100084 
硅类薄膜材料是微机电系统使用的主要结构材料 ,它的力学特性直接关系到微机电系统的可靠性和使用寿命 ,而残余应力是微型机械设计的一个十分重要的力学特性。概述了国内外微型机械薄膜材料残余应力的测量原理、方法和特点 ,可供微机电...
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微型机械材料的力学特性测量
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《中国机械工程》2001年 第z1期12卷 201-204页
作者：何日晖 叶雄英 周兆英清华大学精密仪器与机械学系 
概述了国内外 MEMS材料力学特性的测量原理、方法和特点 ,主要包括弹性模量、残余应力、疲劳特性、破坏强度的测量 ,为微机电系统的设计和制造提供有益的参考。
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