摘要：直写式曝光具有曝光速度快、精度高、成本低的优势,但该曝光方式对洁净室要求非常高,温湿度会直接影响半导体材料的成品良率。因此为了达到曝光机对温湿度的要求,本文以广州某项目曝光间为例,以当地气象参数和工艺需求为出发点,介绍光刻(writer)洁净室和屏蔽室的洁净空调系统设计,从洁净空调系统的组成及控制原理两方面进行分析,并以实测温湿度波动数据曲线来验证洁净空调系统设计的可行性。

摘要：本文结合GMP规范及固体制剂生产的特点,固体制剂车间的工艺布置有一定的模式可以遵循,但是考虑到不同产品的工艺需求及厂房、设备等自身条件的限制,在工艺布置上还是有许多需要探讨的地方。工艺布置设计中要与建筑、结构、暖通等各专业的协作,沟通,才能设计出业主满意,实用,节能的车间布置。

摘要：为解决车路协同个性化服务和交通管理应用需求的冲突问题,对现有应用进行了总结,基于应用集成设计了车路协同环境下的交通业务服务系统。综合考虑国标、国内外研究组织提出的应用以及国内实际落地的应用,并分析了上述应用的发展方向,共整合总结得到14个依托实际交通场景的交通业务,作为系统目标。针对现有主体产品集中于路侧单元和车载单元两类核心设备的现状,运用结构化的系统分析和设计方法进行了功能模块和逻辑框架的设计,统一考虑了各类交通设施的实体特性和通信特性,设计了服务系统的物理架构和数据流内容,实现了对所提出的14项交通业务的兼容。开发了示范系统并实现了样例功能,系统表现出良好的适应性和可移植性。