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超精密光栅尺位移测量系统
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《激光杂志》2018年 第9期39卷 42-46页
作者：党宝生 熊显名 王献英 张文涛桂林电予科技大学电子工程与自动化学院广西桂林541004 上海微电子装备集团股份有限公司上海201203 
针对光刻机运动台位移测量需求,研究了利用二次衍射光干涉的对称式光栅尺位移测量系统。基于多普勒效应分析了光栅尺的位移测量原理,推导了光栅尺位移测量模型。设计了基于商用双频激光干涉仪的测量对比实验平台,开展了光栅尺位移测量...
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