摘要：本文详细介绍了一种用硅玻璃键合工艺制作的微型梁式电容应变传感器,通过ANSYS软件并结合MEMS器件的特点进行优化,设计并制作了由MEMS工艺实现的微型梁式电容应变传感器。为保证应变器件稳定工作,在测量电路中加一直流静电驱动电压在电容器的极板之间,以保证建立的电场在两极之间产生一个静电力,引起膜片发生向下形变的弯曲,从而保证作用在轴向的应力不会使应变梁产生失稳。文中详细给出了工艺流程和测试结果,通过实验测试证明,用这种方法制作的电容应变器件具有良好的线性、较小的滞后和稳定的工作特性,其中应变灵敏度达10fF/MPa,测量误差小于1%FS。

摘要：以传统的大平板热保护法测量绝热材料为理论基础,提出基于埋入式热流计法快速测量真空绝热板导热系数的方案。通过有限元分析软件ANSYS仿真分析,证明了该测量原理的可行性。通过硬件电路设计和相关测量方法,实现了真空绝热板导热系数的快速测量。实验结果表明,该检测方案具有操作简便、检测速度快、测量精度高、成本低廉等优点,可广泛应用于工业测量领域。

摘要：在无线通信中使用跳频技术是军事通信中最主要的抗干扰手段之一,而如果系统中使用合适的中心频率可以快速跟踪跳频变化的带通滤波器将可以明显改善系统的抗干扰性能.介绍了一种用硅玻璃键合工艺制作的微型梁式可变电容器,设计并制作了由MEMS工艺实现的微型的静电驱动的可变电容器件,用这种方法制作的电容器件具有良好的线性、较小的滞后和稳定的工作特性.设计了可用于15～50kHz跳频应用的带通滤波器,可达到连续选频的目的.

摘要：在介绍了一种基于开关电容原理的Sigma-Delta调制器基本原理的基础上,着重对开关电容积分器在实际设计中遇到的细节问题进行了详细的分析.研究了寄生电容、MOS开关的导通电阻和电荷注入问题、时钟馈通和采样尖峰及放大器特性对积分器的影响等.提出了解决方法和选用合理的参数设计出全差动的开关电容积分器,并给出SPICE的0.5μm的CMOS工艺的仿真结果.

摘要：文中根据油田油井水力压裂放喷工况,设计、制作了用于油井放喷的智能监测与控制系统,使压裂液能够按照一定的流量规律返排,避免人工控制返排速度中带来的诸如压力波动、吐砂等弊端。该系统以计算机作为人机交换工具,实现各种参数的设置。以PLC作为现场控制设备,实现压力与流量参数的采集,并实时控制阀门开度与状态显示,以达到最佳的压裂液返排效果。文中最后给出了油田油井压裂现场施工控制测试曲线,结果表明采用油井水力压裂放喷控制装置,可以达到设计的压裂液返排效果。

摘要：介绍了一种实用的平板电容式MEMSRF射频开关。研究了外加驱动电压与由此所引起的极板间距和极板受力变化之间的非线性关系,提出了一种有效的基于有限元的设计分析方法,在此基础上设计了相应的MEMS加工工艺流程,并给出了具体的MEMS工艺。

摘要：介绍了一种用硅-玻璃键合工艺制作的微型梁式可变电容器,通过ANSYS软件并结合MEMS器件的特点进行优化,设计并制作了由MEMS工艺实现的微型静电驱动的可变电容器件,给出了工艺流程和测试结果。通过实验测试证明:用这种方法制作的电容器件具有良好的线性、较小的滞后和稳定的工作特性。

摘要：振荡器是许多电子系统的主要部分．相对于晶体振荡器，基于CMOS工艺的环形振荡器具有良好的抗震动及抗电磁干扰性能，在车载系统等震动及电磁干扰条件较为严酷的应用场合表现出优势．本文介绍了一种频率为8MHz的CMOS环形振荡器的设计，工作电压范围是2．7～5．5V，工作温度范围是-40～125℃．该振荡器对CMOS环形振荡器的固有缺点进行了针对性的设计．设计中使用的改进的延时单元以及激光校准电路克服了CMOS环形振荡器输出频率片间偏差较大的缺点；使用内部电压源以及电源电压无关的电流源，克服了其易受电源电压影响的弱点．该CMOS振荡器使用HSPICE软件仿真工具设计，并采用UMC0．6um工艺制作，测试验证结果表明，电源电压从2．7V变化到5．5V，振荡器输出频率最大变化范围为±4％．

摘要：为了提高石油钻井装置的可靠性能,在满足石油钻井工艺的要求前提下我们设计一种简单、可靠、维修方便、抗污染能力强的钻机液压系统。该文主要介绍了该液压系统的组成、工作原理及其特点。经过的工程技术人员的审核,该系统已成功应用到浙江顶驱钻采机械有限公司的钻机中调试实验。实验结果表明,该系统具有很强的实用性。

摘要：采用0.5μm CMOS工艺设计了一种高精度低压基准电压源.提出了一种结构比较新颖的基准电压源电路,该基准电压源电路具有较低的温度系数、较大的温度范围和较高的电源抑制比.此外,还增加了提高电源抑制比电路、启动电路,以保证电路工作点正常、性能优良,并使电路的静态功耗较小.Spice仿真结果表明:低频时电源抑制比可达70dB;在-40～120℃范围内,输出变化仅为0.004V,温度系数可达25×10-6V/℃;静态功耗小,在电源电压Vdd=3.3V时,总功耗约为0.025mW.