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一种新型氨气纯化器的设计
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《集成电路应用》2022年 第1期39卷 252-253页
作者：侯鹏 杨荣博 冯玉扉 杨瑞云 刘君伟大连华邦化学有限公司辽宁116000 
阐述9N超纯氨气的纯化器设计,应用于光电子领域及MOCVD设备,包括纯化器工艺设计、纯化器外观设计、纯化器仪控设计,采用两塔吸附方式,可实现现场及远端控制。
来源：详细信息评论
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